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J-GLOBAL ID：200903065203290101

アレイ状電界放射冷陰極とその製造方法

Inventor： 巻島 秀男
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994287725
Publication number (International publication number)：1996148080
Application date： Nov. 22, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】アレイ状電界放射冷陰極ならびにこの陰極を装備した電子デバイスの製造工程中に受ける塵埃等の汚染による絶縁抵抗や絶縁耐圧の低下を防ぎ、陰極の信頼性寿命を改善する。【構成】ゲート開口の中に膜堆積法によってエミッタ5を形成する陰極や基板1のエッチングによって形成したエミッタ5の上に形成したマスクを介して絶縁層2、ゲート電極3の層を堆積する陰極において、少なくともエミッタ5の下部と絶縁層2の側面部に共通の絶縁膜6を形成する。この絶縁膜6を形成するため、減圧CVD法あるいはSOG技術を使用する。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板の上にエッチング法によって形成し、先端を先鋭化した電子放出電極と、前記電子放出電極とその付近を除いて前記基板の上に形成した絶縁層と、前記電子放出電極を取り囲む開口を持つ制御電極とから成る複数の微小冷陰極から構成されたアレイ状電界放射冷陰極において、少なくとも、絶縁層の側壁と、電子放出電極の基板付近とを絶縁膜で被覆したことを特徴とするアレイ状電界放射例陰極。

IPC (2)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 電界放出素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-153451   Applicant：凸版印刷株式会社