Pat

J-GLOBAL ID：200903065205332499

成膜方法、成膜装置、及び半導体装置の製造方法

Inventor： 室山 雅和 ,  佐藤 淳一
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 志賀 富士弥 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993077039
Publication number (International publication number)：1994295907
Application date： Apr. 02, 1993
Publication date： Oct. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 低水酸基濃度の層間平坦化絶縁膜を備える半導体装置を得る。【構成】 中層絶縁膜25を、TEOS/O2/H2O/NH3=350/350/10SCCM,1330[Pa],120°C,RF=350Wの条件でプラヅマCVDにより形成する。無機塩基を添加したことにより、有機Si化合物の脱水縮合反応を円滑に進行させて、低水酸基濃度の平坦な層間絶縁膜の形成が可能となる。

Claim (excerpt)：

原料ガスと反応触媒ガスとを反応室に導入して膜を化学気相成長法で形成する成膜方法において、該原料ガスのうち少なくとも1種類のガスを、該反応触媒ガスのガス供給口とは別のガス供給口から該反応室に導入することを特徴とする成膜方法。

IPC (5)：

H01L 21/3205 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/90

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開平3-250626
  
• 半導体装置のケイ素酸化膜の製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-361193   Applicant：株式会社高純度化学研究所

Cited by examiner (2)

• 特開平3-250626
  
• 特開平1-298725