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J-GLOBAL ID：200903065209184915

キャップ形の素材をコーティングする装置およびユニット

Inventor： ハインツ-ヴェルナーエッコルン ,  ハラルド クリュンメル ,  ギュンター ワイドマン ,  フォルカー パケット
Applicant, Patent owner： カール-ツァイス-スティフツング
Agent (1)： 米原 正章 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992178890
Publication number (International publication number)：1993186873
Application date： Jun. 15, 1992
Publication date： Jul. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 数個のキャップを経済的な方法で同一の高品質にコーティングすることができる装置およびユニットを提供する。【構成】 数個のキャップ13を同時にコーティングするために、数個のコーティング室12a,12bがキャップコーティングステーション1と接続される。コーティング室は、対称のガスライン系175で共通のガス発生器146と、そしてガスライン系95で共通の真空ポンプ90と接続される。ガスライン170,171,172,91,92,93はガス発生器又は真空ポンプからの距離xの関数として基本的に同じ横断面積QA (x)および横断面形態QF (x)を有している。このようにして、すべてのコーティング室内に同じ流れの状態が確保される。ガスライン系95および175は精密管又は中ぐり又はフライス削りでガスダクトを形成した中実プレート積重ねることにより形成できる。対称のガスライン系で共通の真空ポンプ/ガス発生器と接続した数個のキャップコーティングステーションが一ユニットを構成する。

Claim (excerpt)：

キャップ形の基材および端縁上で誘電層系と組み合わされかつ気密に接続された受け器部分により形成されたコーティング室であって、ガス取入ダクトおよびガス排出ダクトが終端し、そして反応させようとするガス層の範囲を設定するために1個またはそれ以上のダクトを含むガス排出器を備えたコーティング室と、反応させようとするガス層内にプラズマ領域を励起させる手段とを備えた誘電層系を有するキャップ形の基材、特に冷光鏡面コーティングが施されたレフレクターの内面をコーティングする装置において、少なくとも二つのコーティング室(12a,12b,12c,12d)が相並んで配置され、それによりキャップコーティングステーション(1)が構成され、キャップコーティングステーション(1)はガスラインによりすべてのコーティング室(12aないし12d)に共通のガス発生器(14b)および共通の真空ポンプ(90)と接続され、そしてガス供給用のガスラインがそれぞれ対称のガスライン系(175,95)を構成しており、したがってガス発生器(146)または真空ポンプ(90)からの距離xの一つの関数としてのこれらのガスラインの横断面積QA (x)および横断面の形態QF (x)が基本的に同じであることを特徴とするキャップ形の基材の内面をコーティングする装置。

IPC (2)：

C23C 16/44 ,  C23C 16/50