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J-GLOBAL ID：200903065214708213

研磨装置および研磨方法

Inventor： 千葉 伸一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 西山 恵三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001235049
Publication number (International publication number)：2003039297
Application date： Aug. 02, 2001
Publication date： Feb. 12, 2003
Summary：

【要約】【課題】 非球面レンズ等のような多種多様な曲率を持つ被加工面を、簡便な構成で平滑化できる研磨装置を提供する。【解決手段】 研磨面2aを有する研磨部材2の略中心部をピボット7で支持し、両端部を駆動手段9によりZ方向に駆動させることにより、研磨部材2の中心部の位置を変化させることなく研磨部材2を変形させることができる。これにより研磨面2aを加工位置に応じた理想的な加工面形状に一致させながら被加工面に密着させ研磨を行なうことで、非球面レンズ等のような多種多様な曲率を持つ被加工面の平滑化を可能にする。

Claim (excerpt)：

研磨面を有する研磨部材と、前記研磨部材の略中心部を支持する支持部と、前記研磨部材の支持部を中心として長手方向に相対向する部位を保持する保持部と、前記保持部に作用する駆動手段を制御する制御手段とを有し、前記制御手段により前記研磨部材の前記被加工面との接触面形状を調整することを特徴とする研磨装置。

IPC (4)：

B24B 13/01 ,  B24B 13/00 ,  B24B 13/02 ,  B24B 21/16

FI (4)：

B24B 13/01 ,  B24B 13/00 A ,  B24B 13/02 Z ,  B24B 21/16

F-Term (17)：

3C049AA07 ,  3C049AA09 ,  3C049AA16 ,  3C049BB01 ,  3C049CA01 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA11 ,  3C058AA16 ,  3C058BA02 ,  3C058BA09 ,  3C058BB03 ,  3C058BB08 ,  3C058BB09 ,  3C058BC02 ,  3C058CB03 ,  3C058CB05