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J-GLOBAL ID：200903065224226330

表示素子用配線、これを利用した薄膜トランジスタ基板及びその製造方法

Inventor： 鄭 敞 午 ,  李 在 甲 ,  趙 範 錫
Applicant, Patent owner： 三星電子株式会社
Agent (1)： 小野 由己男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001231153
Publication number (International publication number)：2002151434
Application date： Jul. 31, 2001
Publication date： May. 24, 2002
Summary：

【要約】【課題】 物理的に接着力が向上し、電気的には接触抵抗が良好な特性を有する表示素子用配線及びこれを利用した薄膜トランジスタ基板並びにその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 表示素子用配線を、低融点金属の合金元素が少なくとも一つ以上合金されているAg合金で形成する。液晶表示パネルにおいて、このような表示素子用配線を用いてゲート配線22,24,26及びデータ配線65,66,68を形成すれば、接触部で他の導電物質と連結される過程で腐食が発生して素子の特性を低下させるのを防止できる。

Claim (excerpt)：

低融点金属元素を合金元素とし、前記合金元素が少なくとも一つ以上合金されているAg合金で形成された、表示素子用配線。

IPC (8)：

H01L 21/28 301 ,  C22C 5/06 ,  C23C 14/34 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  H01B 1/02 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/786

FI (11)：

H01L 21/28 301 Z ,  C22C 5/06 Z ,  C23C 14/34 A ,  C23C 14/34 N ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  H01B 1/02 Z ,  H01L 29/78 617 M ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 21/88 M ,  H01L 29/78 616 V

F-Term (107)：

2H092GA25 ,  2H092HA05 ,  2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092JA28 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JB07 ,  2H092JB57 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092KA19 ,  2H092KB05 ,  2H092NA17 ,  2H092PA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA22 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4M104AA01 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB08 ,  4M104BB36 ,  4M104BB39 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD04 ,  4M104DD17 ,  4M104DD23 ,  4M104DD34 ,  4M104DD37 ,  4M104DD61 ,  4M104DD78 ,  4M104DD91 ,  4M104EE03 ,  4M104EE05 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104HH15 ,  4M104HH16 ,  5F033GG04 ,  5F033HH05 ,  5F033HH14 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK14 ,  5F033LL01 ,  5F033LL09 ,  5F033MM05 ,  5F033PP15 ,  5F033PP19 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ76 ,  5F033QQ85 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033SS11 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033WW00 ,  5F033WW03 ,  5F033WW04 ,  5F033XX10 ,  5F033XX13 ,  5F110AA03 ,  5F110BB01 ,  5F110CC02 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE06 ,  5F110EE11 ,  5F110EE44 ,  5F110EE48 ,  5F110FF03 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110HJ12 ,  5F110HK01 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HM15 ,  5F110NN02 ,  5F110NN24 ,  5F110NN72 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11 ,  5G301AA01 ,  5G301AA03 ,  5G301AA12 ,  5G301AA13 ,  5G301AB11 ,  5G301AD05