磁気ディスク用ガラス基板の製法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：泉名謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996072762
Publication number (International publication number)：1996329454
Application date： Mar. 27, 1996
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【課題】磁気ディスク用ガラス基板のラッピング処理工程で基板表面に付着した砥粒や金属粒子を次工程の研磨工程に持ち込むことを防ぎ、研磨工程での傷の発生率を低減させる。【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板の主表面をラッピング処理した後、そのガラス基板の表面に深さ0.1〜3μmのエッチング処理を施し、その後エッチング処理が施されたガラス基板の主表面を研磨処理する。

Claim (excerpt)：

磁気ディスク用ガラス基板の主表面をラッピング処理した後、そのガラス基板の表面に深さ0.1〜3μmのエッチング処理を施し、その後エッチング処理が施されたガラス基板の主表面を研磨処理することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製法。

IPC (3)：

G11B 5/84 , C03C 15/00 , C03C 19/00

FI (3)：

G11B 5/84 A , C03C 15/00 E , C03C 19/00 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開平2-071429
特開昭63-160010
特開平2-269552

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