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J-GLOBAL ID：200903065254584460
干渉顕微鏡装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997046390
Publication number (International publication number)：1998239589
Application date： Feb. 28, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：
【要約】【課題】 試料の観察部位の確認を容易にする。【解決手段】 一定の波長でコヒーレントな光を発生するレーザー発振器1と、インコヒーレントな光を発生する光源3を設ける。レーザー発振器1から発生した光を物体光線と参照光線とに2分割するハーフミラー2を設ける。物体光線および光源3から発生した光を試料7に照射する第1のレンズ8を設け、参照光線を平面ミラー9に照射する第2のレンズ10を設ける。試料7で反射した物体光線と平面ミラー9で反射した参照光線との干渉光および試料7で反射した光源3からの光を検出する光検出器11を設ける。光検出器11の出力から位相を計算するコンピュータ13と、試料7を照射する光の垂直な方向をX-Y面とし試料を入射光に対してX,Yに移動させるX-Yステージ15を設ける。
Claim (excerpt)：
一定の波長でコヒーレントな光を発生する第1の光源と、白色光に近いインコヒーレントな光を発生する第2の光源と、前記第1の光源から発生した光を物体光線と参照光線とに2分割する手段と、前記物体光線および前記第2の光源から発生した光を試料に照射する手段と、前記参照光線を参照物体または試料に照射する手段と、前記試料で反射した物体光線と参照物体または試料で反射した参照光線との干渉光および試料で反射した前記第2の光源からの光を検出する光検出手段と、検出手段の出力から位相を計算する位相演算手段と、試料を照射する光の垂直な方向をX-Y面とし試料を入射光に対してX,Yに移動させる移動手段とを具備したことを特徴とする干渉顕微鏡装置。
IPC (4)：
G02B 21/00
, G01B 9/02
, G01B 11/30
, G02B 21/18
G02B 21/00
, G01B 9/02
, G01B 11/30 Z
, G02B 21/18
