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J-GLOBAL ID：200903065256257300
荷電粒子線装置の検出器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
土橋 皓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993216004
Publication number (International publication number)：1995065775
Application date： Aug. 31, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】荷電粒子線装置において、表面が平らな試料では、電子線近傍の反射電子を捕捉して、試料表面の良質な組成像が得られ、試料表面に凹凸のある一般的な試料では、反射電子検出器の外周部に発散する反射電子を捕捉することができて、試料の凹凸を含む立体感のある画像が得られることを目的とする。【構成】荷電粒子線装置の検出器を、半径が異なる同心円からなる少なくとも2つ以上の円環状板体で形成され、かつ各円環状板体に少なくとも2個以上の検出素子を有することとし、また、前記検出素子は各々独立した信号増幅器を有し、該信号増幅器からの出力は信号加算器および信号減算器に接続され、該信号加算器および信号減算器により加算または減算された信号は、選択的に、画像表示手段に出力されるように構成する。
Claim (excerpt)：
試料上に荷電粒子線を走査し、該走査に伴って試料より発生する反射電子を反射電子検出器により検出し、該反射電子検出器の出力信号に基づいて試料像を表示する荷電粒子線装置において、前記検出器は、半径が異なる同心円からなる少なくとも2つ以上の円環状板体で形成され、かつ各円環状板体に少なくとも2個以上の検出素子を有することを特徴とする荷電粒子線装置の検出器。
IPC (2)：
H01J 37/244
, H01J 37/22 502
