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J-GLOBAL ID:200903065263364651

線幅連続測定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中島 司朗
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991180922
Publication number (International publication number):1993026621
Application date: Jul. 22, 1991
Publication date: Feb. 02, 1993
Summary:
【要約】【目的】CCDカメラ等による線幅連続測定方法に関し、対象物上に形成された形状不明の線に対して高速で線幅を連続して検出できるようにした線幅連続測定方法を提供することを目的とする。【構成】 読取画像中の測定対象である帯状線内に注目点Pを設定し、注目点Pを通過する偶数方向に走査して、帯状線の両縁点Pa0,Pa1,...を検出し、各走査線上における帯状線の両縁点間距離のうちの最小値を該注目点における線幅とし、一方、前回測定の注目点と今回測定の注目点Pとの位置から次回測定の注目点P1 を設定する方向を決定し、この方向と今回測定の縁点Pa0,Pd0の位置から次回注目点P1 を今回測定の縁点Pa0,Pd0の内分点に設定して自動的に線幅を連続測定するように構成する。
Claim (excerpt):
読取画像中の測定対象となる帯状の線に沿ってその線幅内に注目点を次々に設定し、各注目点での線幅を測定する方法であって、前記帯状線内に設定された一つの注目点を中心として偶数方向に走査し、注目点から互いに反対方向に存在する帯状線の縁を検出し、各走査方向における帯状の縁間距離を画素数から演算すると共に、演算によって得られた縁間距離のうち最小値を現在の注目点における線幅とする線幅測定ステップと、現在の注目点を中心として前回の注目点に対して点対称な方向を次回の注目点を設定する方向と定めるステップと、前記ステップで定められた方向乃至はその方向と鋭角的に交差する方向に延びている走査線のうち、注目点から帯状線の縁までの距離が有効な画素数の範囲におさまっている一つの走査線を選択するステップと、選択された走査線上における帯状線の縁と、線幅を与える2本の走査線上における帯状線の縁のうち前記選択された走査線上の縁から遠い側の縁とを結ぶ線分を所定比で内分する点を次の注目点として設定する注目点設定ステップとからなり、前記ステップで設定された注目点を新たに現在の注目点として上記各ステップを実行することを特徴とする線幅連続測定方法。

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