Pat

J-GLOBAL ID：200903065272611513

荷電粒子線装置のビームブランキング装置

Inventor： 高嶋 進 ,  伊達 直毅
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995044572
Publication number (International publication number)：1996241689
Application date： Mar. 03, 1995
Publication date： Sep. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ブランキング信号のノイズによるプローブへの影響を極めて少なくすることができる荷電粒子線装置におけるブランキング装置を実現する。【構成】 電子銃エミッタ21からの電子ビームを対物レンズ25で集束して試料26に照射すると共に、偏向コイル27,28によって試料上で2次元的に走査する。対物レンズ絞り31とその下方に形成された電子ビームのクロスオーバー点との間にブランキング偏向器30を配置し、対物レンズ絞り31と偏向コイル27,28との間にブランキング絞り32を設ける。ブランキング偏向器の偏向電極の間の間隔2gは、電子ビームの加速電圧に応じて変化させられる。

Claim (excerpt)：

荷電粒子線源からの荷電粒子線を集束レンズで集束して試料に照射すると共に、偏向手段によって荷電粒子線の走査を行うようにした荷電粒子線装置において、集束レンズ絞りとその上方に形成された荷電粒子線のクロスオーバー点との間にブランキング偏向器を配置し、集束レンズ絞りと偏向手段との間にブランキング絞りを設けるように構成した荷電粒子線装置におけるブランキング装置。

IPC (5)：

H01J 37/147 ,  G21K 1/087 ,  G21K 1/093 ,  H01J 37/09 ,  H01L 21/027

FI (6)：

H01J 37/147 B ,  H01J 37/147 D ,  G21K 1/087 D ,  G21K 1/093 D ,  H01J 37/09 Z ,  H01L 21/30 541 B