Pat
J-GLOBAL ID：200903065282503603
異物検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992094266
Publication number (International publication number)：1993288536
Application date： Apr. 14, 1992
Publication date： Nov. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】受光素子を正反射光に影響されずに自由に配置でき、さらに、受光素子への入力のS/Nを劣化させることなく微細な異物の有無を確実に検出することが可能な異物検査装置を提供することにある。【構成】半導体ウエハ7の表面7aにレ-ザ光25を照射し、異物26が存在している場合に発生する散乱光27...を受光素子16に受けて異物26の有無を検出する異物検査装置11において、半導体ウエハ7の表面7aにレ-ザ光25のp偏光をブリュ-スタ角で入射させる。
Claim (excerpt)：
被検査物の表面にレ-ザ光を照射し、異物が存在している場合に発生する散乱光を受光素子に受けて上記異物の有無を検出する異物検査装置において、上記被検査物の表面に上記レ-ザ光のp偏光をブリュ-スタ角で入射させることを特徴とする異物検査装置。
IPC (2)：
Return to Previous Page
