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J-GLOBAL ID：200903065288316554

絶対プラズマパラメータを決定する方法およびその装置

Inventor： ミヒャエル・クリック
Applicant, Patent owner： アドルフ-スラビー-インスティトゥート・フォルシュンクスゲゼルシャフト・フュア・プラズマテヒノロギー・ウント・ミクロシュトリクトゥリールンク・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
Agent (1)： 奥山 尚男 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995332746
Publication number (International publication number)：1996222396
Application date： Nov. 28, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【課題】 非対称無線周波(RF)低圧プラズマの絶対プラズマパラメータを高い信頼性のかつ再生可能な方法にて決定することができるようにする。また、プラズマリアクタの放電電流の一部を測定する装置を提供する。【解決手段】 プラズマリアクタ内に発生する無線周波放電電流はアース電極として作用するリアクタ2の一部においてアナログ信号の形で測定され、このアナログ信号はディジタル信号に変換され、所望のプラズマパラメータが数理アルゴリズムによりディジタル信号から評価される。本発明の装置は、少なくともアース電極の一部として作用するリアクタ壁5のフランジまたは凹部40に絶縁して位置決めされている計測電極21を有する。本発明は、半導体の技術分野のプラズマエッチングについて使用される。

Claim (excerpt)：

非対称無線周波低圧プラズマの絶対プラズマパラメータを決定する方法。a) アース電極として作用するプラズマリアクタの一部にアナログ信号の形でプラズマリアクタ内に発生する無線周波放電電流の一部を測定し、b) a)で測定したアナログ信号をディジタル信号に変換し、c) b)で得られたディジタル信号からプラズマパラメータを評価する工程を有することを特徴とする、非対称無線周波低圧プラズマの絶対プラズマパラメータを決定する方法。

IPC (2)：

H05H 1/00 ,  H05H 1/46

FI (2)：

H05H 1/00 A ,  H05H 1/46 A