プローブカード上の信号をルーティングするプログラマブルデバイス

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：山本秀策 , 安村高明 , 森下夏樹
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007553354
Publication number (International publication number)：2008529012
Application date： Jan. 30, 2006
Publication date： Jul. 31, 2008
Summary：

ウェハのテストシステムのプローブカードは、1つ以上のプログラム可能なIC、例えば、FPGA(150)を含み、個々のテスト信号チャネルから複数のプローブ(16)の1つへのルーティングを提供する。プログラム可能なICは、プローブカードのベースPCB(30)の上に配置されるか、またはプローブカードに取り付けられたドーターカード(100)の上に配置され得る。プログラム可能性により、PCB(30)は、制限されたテストシステムチャネルを使用されていないプローブ(16)から離すために用いられ得る。プログラム可能性はさらに、単一のプローブカードが、同じパッドアレイを有するが異なるデバイスオプションに対して異なるピン出力を有するデバイスを、より効率的にテストすることを可能にする。プログラム可能性はまた、テストエンジニアが、彼らがテストプログラムをデバッグする際に、再プログラムすることを可能にする。

Claim (excerpt)：

プログラム可能なICを備えるプローブカードアセンブリであって、個別のテストチャネルを複数のテストプローブのうちの1つに接続する、プローブカードアセンブリ。

IPC (3)：

G01R 31/28 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (3)：

G01R31/28 K , G01R31/26 J , H01L21/66 B

F-Term (24)：

2G003AA10 , 2G003AE08 , 2G003AG04 , 2G003AG08 , 2G003AG17 , 2G003AH01 , 2G003AH04 , 2G003AH07 , 2G132AA00 , 2G132AB01 , 2G132AE18 , 2G132AE22 , 2G132AE27 , 2G132AF02 , 2G132AF05 , 2G132AF10 , 2G132AG08 , 2G132AL06 , 2G132AL35 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106BA01 , 4M106CA01 , 4M106DD10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

米国特許第5,736,850号明細書
米国特許第6,603,323号明細書

Cited by examiner (8)

半導体集積回路のテスト方法およびテスト装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-137986 Applicant：株式会社ルネサステクノロジ
プローブ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-328919 Applicant：東京エレクトロン株式会社
テストシステムおよび半導体集積回路装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-264193 Applicant：株式会社日立製作所

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