Pat
J-GLOBAL ID：200903065331271195
アクチュエータ及び光スイッチ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
小谷 悦司
, 植木 久一
, 伊藤 孝夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003149850
Publication number (International publication number)：2004354531
Application date： May. 27, 2003
Publication date： Dec. 16, 2004
Summary：
【課題】高精度な変位制御を行えるアクチュエータ、光スイッチを提供する。【解決手段】固定部及び可動部の対向する面にそれぞれ取り付けられた電極で形成されるコンデンサC1と電気抵抗素子R1とを直列接続し、この直列回路に、駆動電圧印加部8で直流の駆動電圧を、またその駆動電圧に重畳して高周波信号印加部9で高周波信号を印加する。検出部10でコンデンサC1及び電気抵抗素子R1による分圧値を検出し、演算部11により高周波信号印加部9の高周波信号の振幅と検出された電圧の振幅との比を算出し、コンデンサC1の電気容量値C1を算出する。駆動電圧制御部12で、電気容量値C1から可動部3側の電極6の変位量を算出し、変位量が指令値となるように駆動電圧の大きさを制御する。そして、高周波信号印加部9の高周波信号をマイクロアクチュエータ1の機械共振周波数より極めて高い周波数を有する信号とする。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
電極を有する固定部と、
前記固定部の電極に対向する電極を備え、これら一対の電極に直流電圧が印加されると、その電極間に作用する静電気力により変位する可動部と、
前記一対の電極に直流電圧を印加する直流電圧印加手段と、
前記可動部が振動しない周波数の交流電圧を前記直流電圧に重畳する交流電圧印加手段と、
前記交流電圧を前記一対の電極とで分圧するための分圧用素子と、
前記交流電圧の印加により前記一対の電極間に発生する電圧値に基づいて、前記可動部の変位量を検出する変位量検出手段と、
前記変位量検出手段により検出された変位量が目標値となるように、前記直流電圧を制御する直流電圧制御手段と
を備えることを特徴とするアクチュエータ。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (4)：
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ06
