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J-GLOBAL ID：200903065349498014

力学量センサおよびエアバッグシステム

Inventor： 堀江 潤一 ,  鈴木 政善 ,  市川 範男 ,  林 雅秀
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994046784
Publication number (International publication number)：1995263709
Application date： Mar. 17, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】気密封止された検出部内部から導通を低価格,高信頼性,高性能な構造で得ることにより,力学量センサを使用したシステムの低価格化を図る。【構成】加速度による慣性により上下する重錘3とこの重錘を支持する弾性部4,導電柱6はn型シリコン単結晶からなる中部導電体2を異方性エッチング加工により形成する。上部絶縁体1aに重錘3と対向するようにアルミ/モリブデンの2層構造からなる上電極5bを導電柱6と導通を持つようにホトリソグラフィー加工により形成する。下部絶縁体1bは上絶縁体1aと同様にパイレックス7740から成り,下電極5aも上電極5bと同一材料,プロセスで形成される。センサ内部からの導通を得るため,不純物層7a,7b,孔部9a,9b,上部絶縁体1aの表面にメタルマスクを用いた蒸着法,スパッタ法によりアルミから成る導電体8a,8b,導電体10a,10bを形成する。

Claim (excerpt)：

力学量を検出する重錘とこの重錘を支持する弾性部を有し接合表面に均一に形成した不純物層をもつ中部導電体,貫通した孔部を有する上部絶縁体,下部絶縁体を有する力学量センサにおいて、上記中部導電体と上部絶縁体および下部絶縁体は気密接合されておりセンサ内部から中部導電体の不純物層を通じ孔部および上部絶縁体に形成した導電体により導通をとることを特徴とした力学量センサ。

IPC (3)：

H01L 29/84 ,  B60R 21/32 ,  G01P 15/125