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J-GLOBAL ID：200903065353818511

ステップ式露光装置

Inventor： 染矢 篤志
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 高月 亨
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991089582
Publication number (International publication number)：1994045215
Application date： Mar. 28, 1991
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】高精度な位置決めを達成できるステップ式露光装置の提供。【構成】ステージ上に被露光基体を載置し、この被露光基体の複数個所を順次ステップ移動して露光するステップ式露光装置において、?@ステップ移動を、X方向のステップ移動による複数の露光と、Y方向のステップ移動による複数の露光とを順次くり返してらせん状のステップ移動Aで行うようにする。?A位置決め用の光を反射するためのミラーを設け、このミラーは断熱材を介して設置する構成とする。

Claim (excerpt)：

ステージ上に被露光基体を載置し、この被露光基体の複数個所を順次相対的にステップ移動して露光するステップ式露光装置において、前記ステップ移動を、X方向のステップ移動による複数の露光と、Y方向のステップ移動による複数の露光とを順次くり返してらせん状のステップ移動で行うことを特徴とするステップ式露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22

FI (2)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 301 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-100724
  
• 特公昭59-008408