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J-GLOBAL ID：200903065357614910

基板検査装置

Inventor： 中村 雅樹 ,  藤武 浩二 ,  佐藤 正明
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994277337
Publication number (International publication number)：1996136876
Application date： Nov. 11, 1994
Publication date： May. 31, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、微妙な色の変化を検出して高精度な検査を行う。【構成】ガラス基板(12)の下面側に黒色の色強調用のシート(11)を配置し、かつガラス基板(12)の上面側に斜め方向から光を照射し、このときのガラス基板(12)からの反射光をカラーCCDカメラ(15)により撮像し、その画像データに対して画像処理部(16)及び検査部(17)において投影処理を行ってしきい値と比較することによりガラス基板(15)のむらを検出する。

Claim (excerpt)：

光透過性の基板の一方の面側に配置される色強調用のシートと、前記基板の他方の面に光を照射する照明手段と、前記照明手段から前記基板の他方の面に光を照射したときの反射光を検出してその光量に応じた画像信号を出力するカラー撮像装置と、このカラー撮像装置から出力された画像信号を画像データに変換し、この画像データを投影処理してしきい値と比較することにより少なくとも前記基板のむらを検出する検査手段と、を具備したことを特徴とする基板検査装置。

IPC (3)：

G02F 1/13 101 ,  G01M 11/00 ,  G02F 1/1337