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J-GLOBAL ID：200903065361094247
電子源およびそれを用いた電子線装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998163208
Publication number (International publication number)：1999354007
Application date： Jun. 11, 1998
Publication date： Dec. 24, 1999
Summary：
【要約】【課題】ショットキー電子源で放出電子エネルギーの単色性の高い電子源の構造およびその電子源を用いた電子線応用装置を提供する。【解決手段】先端を針状にした針状電極と上記針状電極を加熱する発熱体と補給源からなる電子源において、補給源から真空中に放出した材料を針状電極に補給する構造とする。
Claim (excerpt)：
先端を針状にした針状電極と上記針状電極を加熱する発熱体と補給源からなる電子源において、補給源から真空中に放出した材料を針状電極に補給する構造を有することを特徴とする電子源。
IPC (2)：
FI (2)：
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