Pat

J-GLOBAL ID：200903065362573645

プロービング装置

Inventor： 安東 正和 ,  吉田 健嗣
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Agent (1)： 草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994128856
Publication number (International publication number)：1995335701
Application date： Jun. 10, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】 インダクタンス成分の極く小さいローブビング装置を提供する。【構成】 弾性を示す導電性金属の細線により構成されるコンタクトピン11を具備し、複数層のコンタクトピン保持板20を具備し、コンタクトピン保持板20のそれぞれには、コンタクトピン11を挿通保持してコンタクトピン屈伸部を形成する貫通孔211 ないし21n がコンタクトピン11に対応して穿設されており、上下方向に配列される貫通孔211 のグループないし21n のグループの内の相隣接するコンタクトピン保持板20の貫通孔同志は上下方向の中心線を共有しておらず、コンタクトピン11をプローブカード130に接続する接続部材を具備するプロービング装置において、接続部材は配線板10より成るプロービング装置。

Claim (excerpt)：

弾性を示す導電性金属の細線により構成されるコンタクトピンを具備し、複数層のコンタクトピン保持板を具備し、コンタクトピン保持板のそれぞれには、コンタクトピンを挿通保持してコンタクトピン屈伸部を形成する貫通孔コンタクトピンに対応して穿設されており、上下方向に配列される貫通孔のグループの内の相隣接するコンタクトピン保持板の貫通孔同志は上下方向の中心線を共有しておらず、コンタクトピンをプローブカードに接続する接続部材を具備するプロービング装置において、接続部材は配線板より成るものであることを特徴とするプロービング装置。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-004971
  
• 特開昭61-004971