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J-GLOBAL ID：200903065374151240
静電偏向器
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田澤 博昭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995269833
Publication number (International publication number)：1997115470
Application date： Oct. 18, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：
【要約】【課題】 電極表面に形成した被膜の絶縁特性を劣化させることなく電極に対する充分な加熱処理を行うことが困難であり、また無人運転時に電極間で発生する放電に対し対処する手段がないなどの課題があった。【解決手段】 対向する一対の電極の内の少なくとも一方の電極表面に耐熱温度が200°Cを越える絶縁被覆を形成する。
Claim (excerpt)：
対向する一対の電極間に印加する電圧を調整して前記電極間に印加する電圧を目標電圧値まで上昇させ、前記電極間に電界を発生させる電圧印加手段を備え、前記電極間に発生した電界により荷電粒子を偏向させる静電偏向器において、前記電極のうちの少なくとも一方の電極表面に耐熱温度が200°Cを越える絶縁被覆を形成したことを特徴とする静電偏向器。
IPC (3)：
H01J 37/147
, H01J 37/16
, H01J 37/248
H01J 37/147 Z
, H01J 37/147 D
, H01J 37/16
, H01J 37/248 Z
