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J-GLOBAL ID：200903065419581020
針状電極とその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995057343
Publication number (International publication number)：1996255555
Application date： Mar. 16, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、真空中或いは固体・固体間の量子力学的なトンネリング現象に利用される針状電極とその製造方法に関し、安定で大面積の素子にも適用可能な電界放射等に用いる針状電極を提供する。【構成】 基板上の金属酸化物導電体の上に少なくともシリコン針状構造を有し、そのシリコン針状構造の先端部に金属が被覆されてなる構造の針状電極。
Claim (excerpt)：
基板上の金属酸化物導電体の上に少なくともシリコン針状構造を有し、該シリコン針状構造の先端部に金属が被覆されてなることを特徴とする針状電極。
IPC (5)：
H01J 1/30
, G01N 37/00
, G01R 1/06
, H01J 9/02
, C23C 16/24
H01J 1/30 B
, G01N 37/00 A
, G01R 1/06 F
, H01J 9/02 B
, C23C 16/24
