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J-GLOBAL ID：200903065422815961
処理液制御方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996188988
Publication number (International publication number)：1998041264
Application date： Jul. 18, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 処理槽に接続される供給管内でのバクテリアの繁殖を抑えて処理槽の稼働率を確保すると共に処理液による処理効果を向上させる。【解決手段】 排液管22を閉じて供給管23を全開にし、被処理物3 が収納された処理槽21内に供給管23から溶媒液4 を注入すると共に、処理槽21内に所定量の薬液5 を投入して処理槽21内に溶媒液4 と薬液5 とからなる処理液6 を溜める。処理槽21内に所定量の溶媒液4 が注入された時点で、供給管23を閉じる。供給管23を閉じた時点から所定の時間が経過した後、供給管23を半開にし排液管22を開いて排液管22から処理液6 を排出する。これによって、供給管23内で死水が生じる時間を最小限に抑えて供給管23内でのバクアテリアの発生を抑え、かつ処理液6中の薬液5 の濃度を所定時間一定に保って処理能力を維持させる。
Claim (excerpt)：
排液管と供給管とを接続させた処理槽における処理液の制御方法であって、前記排液管を閉じて前記供給管を全開にし、被処理物が収納された前記処理槽内に当該供給管から溶媒液を注入すると共に、当該処理槽内に所定量の薬液を投入して当該処理槽内に前記溶媒液と当該薬液とからなる処理液を溜める第1工程と、前記処理槽内に所定量の溶媒液が注入された時点で、前記供給管を閉じる第2工程と、前記供給管を閉じた時点から所定の時間が経過した後、当該供給管を半開にし前記排液管を開いて当該排液管から前記処理液を排出する第3工程と、を行うことを特徴とする処理液制御方法。
IPC (2)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
H01L 21/304 341 T
, H01L 21/304 341 S
