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J-GLOBAL ID：200903065433208838
電子放出素子の製造方法及び表示装置の製造方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002343662
Publication number (International publication number)：2004178972
Application date： Nov. 27, 2002
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：
【課題】エミッタ層の表面で多数のカーボンナノチューブを垂直に配向させることができる電子放出素子の製造方法を提供する。【解決手段】電子放出素子の製造方法として、支持基板4上にカソード電極を形成する工程と、カーボンナノチューブ11とバインダ材料とを含むエミッタ層10をカソード電極上に形成する工程と、エミッタ層10の上層部のバインダ材料を除去することにより、エミッタ層10の表面にカーボンナノチューブ11を露出させる工程と、エミッタ層10の表面に露出させたカーボンナノチューブ11を支持基板4に対してほぼ垂直に配向させる工程とを有する。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
支持基板上にカソード電極を形成する工程と、
繊維状のエミッタ材料とバインダ材料とを含むエミッタ層を前記カソード電極上に形成する工程と、
前記エミッタ層の上層部の前記バインダ材料を除去することにより、前記エミッタ層の表面に前記エミッタ材料を露出させる工程と、
前記エミッタ層の表面に露出させた前記エミッタ材料を前記支持基板に対してほぼ垂直に配向させる工程と
を有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (15)：
5C127AA01
, 5C127BA09
, 5C127BA13
, 5C127BA15
, 5C127BB07
, 5C127CC02
, 5C127CC46
, 5C127DD07
, 5C127DD14
, 5C127DD57
, 5C127DD64
, 5C127DD69
, 5C127DD70
, 5C127EE02
, 5C127EE04
Cited by examiner (6)
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