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J-GLOBAL ID：200903065446077937

電気めっき装置および電気めっき方法

Inventor： 古市 眞治 ,  佐々木 岳夫
Applicant, Patent owner： 日立金属株式会社
Agent (1)： 大場 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996310919
Publication number (International publication number)：1998152799
Application date： Nov. 21, 1996
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 磁気ヘッド等の製造に用いる電気めっき装置において、めっき槽にめっき液を注入する際に、陰極と陽極の間にめっき液が満たされるまで陰極に電流を供給できないため、陰極の下地膜がめっき液に溶解され均一なめっき膜を形成できない。また、めっき電流遮断後めっき液を排出し陰極をめっき槽から取り出せるようになるまで、陰極に生製されためっき膜がめっき液に溶解されるため、めっき膜厚の制御が難しい。【解決手段】 めっき槽内で陽極と陰極を対向させると共に、前記陰極の近傍に補助陰極が配置され、めっき電源を備える電気めっき装置において、陰極と陽極の間にめっき液が満たされていない期間は、補助陰極から陰極に電流を供給することで、めっき液による陰極の下地膜の溶解を実質的になくす。その後、陰極と陽極の間にめっき液が満たされたら、陽極から陰極と補助陰極に電流を供給してめっき膜を形成する。更に、めっき液排出時にも補助陰極から陰極に電流を供給することで、めっき液によるめっき膜の溶解を実質的になくす。

Claim (excerpt)：

めっき槽内に陽極と陰極が所要の距離をもって対向すると共に、前記陰極の近傍に補助陰極を配し、前記陽極から前記陰極へ、及び前記陽極から前記補助陰極に電流を供給する電源を備えた電気めっき装置において、前記補助陰極から前記陰極に向かう電流を供給し、遮断する手段を設けることを特徴とする電気めっき装置。

IPC (4)：

C25D 17/10 ,  C25D 21/00 ,  G11B 5/31 ,  G11B 5/39

FI (4)：

C25D 17/10 B ,  C25D 21/00 J ,  G11B 5/31 M ,  G11B 5/39