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J-GLOBAL ID：200903065451173294

ガラスのレーザ加工方法及びガラス成形品

Inventor： 池野 順一 ,  梅津 一成
Applicant, Patent owner： 池野 順一 ,  セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 梅田 明彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998247720
Publication number (International publication number)：2000061667
Application date： Aug. 19, 1998
Publication date： Feb. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】 YAGレーザでガラスに微細な深穴をクラックフリーで直接加工する。【解決手段】 YAGレーザ吸収率の高い成分を含有するガラスからなる被加工物に向けてパルス発振YAGレーザを照射する。YAGレーザの照射エネルギは、使用するガラスに含まれる高YAGレーザ吸収率成分に応じて所定の閾値以上に設定する。レーザ光の焦点位置は、被加工物の表面と裏面との中間付近に、より好適には表面・裏面の中間位置より下方に設定し、照射エネルギを特定の位置に集中することなくその厚さ方向に均一に分散させ、表裏両面から貫通穴を成長させる。【効果】 加工工程及び作業の簡単化、加工時間の短縮及び加工コストの低減化が図られる。

Claim (excerpt)：

ガラスからなる被加工物に向けてパルス発振YAGレーザを照射する過程からなり、前記ガラスがYAGレーザ吸収率の高い成分を含有し、かつ前記YAGレーザの照射エネルギを所定の閾値以上に設定することを特徴とするガラスのレーザ加工方法。

IPC (5)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/18 ,  B26F 1/31 ,  G03B 33/08 ,  H01S 3/00

FI (6)：

B23K 26/00 G ,  B23K 26/00 N ,  B23K 26/18 ,  B26F 1/31 ,  G03B 33/08 ,  H01S 3/00 B

F-Term (14)：

3C060AA08 ,  3C060CF16 ,  4E068AF01 ,  4E068CA02 ,  4E068CA03 ,  4E068CA11 ,  4E068CF01 ,  4E068DB13 ,  5F072AB01 ,  5F072JJ09 ,  5F072JJ12 ,  5F072RR01 ,  5F072SS06 ,  5F072YY06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-258476
  
• 特開昭62-046930
  
• 特開昭63-129030
  
• 特開昭55-109237