インクジェットヘッド及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐々木宗治 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993109654
Publication number (International publication number)：1994071882
Application date： May. 11, 1993
Publication date： Mar. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】小型高密度で低電圧による駆動が可能な、しかも安定した高品質の印字が可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を得る。【構成】インク液滴を吐出するノズル孔4と、該ノズル孔にそれぞれ連通する吐出室5と、該吐出室の底壁の振動板6と、振動板に対向して配置され、振動板を静電気力により駆動する電極21とを備え、振動板を形成する第1の基板1と電極を形成する第2の基板2との陽極接合面のいずれか一方又は両方の面に振動室用の凹部15あるいは電極装着用の凹部25もしくはSiO2 膜41、42等を形成することにより振動板と電極間のギャップ長Gを0.05〜2.0μmとする。

Claim (excerpt)：

インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連通する吐出室と、該吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に変形を生じさせる駆動手段とを備え、前記駆動手段が前記振動板を静電気力により変形させる電極からなるインクジェットヘッドにおいて、前記振動板と前記電極との対向間隔を0.05μm以上、2.0μm以下としたことを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-022642
特開昭54-146633
特開平4-286871

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