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J-GLOBAL ID：200903065464930000

欠陥検査装置

Inventor： 執行 義春 ,  宮本 佳幸 ,  猶原 洋
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 梶原 辰也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993061040
Publication number (International publication number)：1994249791
Application date： Feb. 25, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ウエハ表面の性状にかかわらず、欠陥を適正に検出できる。【構成】 ウエハ1の保持ステージ装置11と、ウエハに検査光21を照射する検査光照射装置20と、ウエハにおける検査光の散乱光31を検出する散乱光検出器34と、その検出結果に基づき欠陥を判定する欠陥判定装置40とを備えた欠陥検査装置において、散乱光検出器34の信号処理回路に、ウエハ1の反射率や吸収率等に対応してオフセット値を下げるオフセット処理回路38が介設されている。【効果】 オフセット処理回路38により直流成分のオフセット値を低減させて、散乱光検出器34の出力信号波形のオフセット値が高く、また、その散乱光信号波形が増幅器34のダイナミックレンジで飽和されてその成分中に埋もれていた欠陥信号に相当する散乱光信号波形71を顕在化できるため、ウエハ1の表面の性状にかかわらず、欠陥を検出できる。

Claim (excerpt)：

被検査物を保持するためのステージ装置と、被検査物に検査光を照射するための検査光照射装置と、被検査物における検査光の散乱光を検出する散乱光検出器と、散乱光検出器の検出結果に基づいて欠陥を判定する欠陥判定装置とを備えている欠陥検査装置において、前記散乱光検出器の信号処理回路にオフセット処理回路が介設されており、このオフセット処理回路は、被検査物の反射率や吸収率等の相違によって検出信号のオフセット値全体を下げ、増幅器のダイナミックレンジでの散乱光検出信号の飽和状態を防止するように構成されていることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66