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J-GLOBAL ID：200903065499450877
加速度センサ及びその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999105302
Publication number (International publication number)：2000298139
Application date： Apr. 13, 1999
Publication date： Oct. 24, 2000
Summary：
【要約】【課題】 高感度化を可能とする。【解決手段】 基板31を切り離して枠体32とその枠内に位置する質量体33とを構成し、基板31の板面上に枠体32に固定された固定部35と、質量体33に連結された連結部36と、それら間に架設されたヒンジ部37とからなる支持体34を設け、さらに枠体32に設置された設置部39と、その設置部39より突出されて質量体33と対向された対向部40とからなる検出電極38を設ける。支持体34及び検出電極38はパターニングより同一膜から形成される。質量体33が基板31の一部で構成され(質量大)、ヒンジ部37が膜で構成されるため(厚さ小)、センサを高感度化できる。
Claim (excerpt)：
導電性基板を切り離して構成された枠体及びその枠内に位置する質量体と、上記基板の一方の板面上に設けられ、上記枠体に固定された固定部と、上記質量体に連結された連結部と、それら固定部及び連結部間に架設されたヒンジ部とからなる支持体と、上記板面上に設けられ、上記枠体に設置された設置部と、その設置部より突出されて上記質量体と対向された対向部とからなる検出電極とを備え、上記支持体及び検出電極が上記板面上に成膜された膜のパターニングにより、同一膜から形成され、上記ヒンジ部及び対向部が上記質量体となすギャップが犠牲層の除去によって形成されていることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA24
, 4M112CA26
, 4M112DA04
