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J-GLOBAL ID：200903065543672025

マイクロ波イオン源

Inventor： 宮本 直樹
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 成田 擴其
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992274910
Publication number (International publication number)：1994103910
Application date： Sep. 21, 1992
Publication date： Apr. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 プラズマ室の長い領域に均一にマイクロ波を供給すること。【構成】 プラズマ室1の室壁1aに沿って、マイクロ波放射用の一次元的に長い2本一対のアンテナ311、312が平行に配置されており、両アンテナは、マイクロ波の1/4波長の整数倍の距離Lを置いて同一軸上に設ける。各アンテナに給電するマイクロ波発生器511、512は互いに反対側の位置にあり、各アンテナにおけるマイクロ波の伝搬方向は対向する。プラズマが生成される長い領域の両端部にマイクロ波の供給部が位置し、プラズマ生成部の全長に亘ってマイクロ波の吸収が均一化され、生成されるプラズマを均一化し、均一性のよい長尺イオンビームを引出すことができる。

Claim (excerpt)：

磁界中のマイクロ波放電によって内部にプラズマが生成されるプラズマ室と、生成されたプラズマからイオンビームを引出す引出し電極系と、前記プラズマ室の室壁に沿って配置された一次元的に長いマイクロ波放射用のアンテナと、このアンテナが配置された前記室壁の背面側にアンテナに沿うように配置された第1の磁石とを有し、前記アンテナ、前記プラズマ室の前記室壁及び生成されたプラズマがマイクロ波ストリップ線路構造を形成しているマイクロ波イオン源において、前記アンテナは同一軸上に配置された2本のアンテナを一対として成り、この一対のアンテナは、その各一端をマイクロ波の1/4波長の整数倍の距離をおいて配置されており、その各他端の側からマイクロ波が給電されて、マイクロ波の伝搬方向が対向していることを特徴とするマイクロ波イオン源。

IPC (2)：

H01J 27/18 ,  H01J 37/08