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J-GLOBAL ID：200903065577562245

カンチレバー振れセンサ及びその使用方法

Inventor： ブルゴワン、ジャン フィリップ、マリ ,  ジョンソン、マシュー、ブルース ,  ミッシェル、ブルーノ
Applicant, Patent owner： インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
Agent (1)： 合田 潔 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996523916
Publication number (International publication number)：1997505899
Application date： Feb. 07, 1995
Publication date： Jun. 10, 1997
Summary：

【要約】カンチレバー(220)と第2の表面(230、231)の間のギャップから出る放射線の検出に基づいて、カンチレバー型マイクロメカニカル素子の振れまたはそれに加わる力を測定するための方法及び装置を提示する。カンチレバーと第2の表面を電圧によって適切にバイアスするときに高い周波数で自然に発生する放射線を、外部エネルギー源を使って拡大することができる。また、この新しい方法及び装置は、表面の調査、特にドーパント・プロファイル作成にも利用される。

Claim (excerpt)：

アンテナ手段(261、263、361、461)と、増幅手段(260、262、362〜364、462〜464)と、動作中に前記カンチレバーに直流電圧を印加する手段(250、350、450)とを備え、原子間力顕微鏡(AFM)の柔軟なカンチレバー(220、320、420)に加わる力またはその振れを測定するための装置。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平4-361110