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J-GLOBAL ID：200903065578034382

ステージの微動装置

Inventor： 藤田 佳児 ,  長野 寛之
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991245561
Publication number (International publication number)：1993084626
Application date： Sep. 25, 1991
Publication date： Apr. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】 半導体露光用のステージのように精密な位置決めが必要とされるステージの微動装置において、組立上の誤差や外力によって、ステージが所定の位置からずれたとき、圧電素子にかかるせん断力をなくし、かつステージとベースの平行位置ずれによるステージとベース間方向への干渉を防ぐことを目的とする。【構成】 ベース1に対して相対的に変位を与えることのできるステージ2の微動装置において、ベース1とステージ2の間の距離と同じ球面の端4,5を両側にもつ積層型圧電素子3と、前記ベースと前記ステージとの間隔を縮める方向に作用する弾性体6,7とを設けることにより、また、リンクの球面端の一部に突起を設け、ベースあるいはステージのリンクとの接点に、前記突起と嵌合する凹部を設けることにより、組立上の誤差や外力によるステージの変位が微少な範囲内であれば、ステージが圧電素子に密着しながら球状の圧電素子上を転がるため、圧電素子へせん断力が働くことがなく、かつ干渉成分も除去できる。

Claim (excerpt)：

ベースに対して相対的に変位を与えることのできるステージの微動装置において、ベースと、ステージと、直径が前記ベースと前記ステージの間の距離と同じ球面の端を両側にもつ積層型圧電素子と、前記ベースと前記ステージとの間隔を縮める方向に作用する弾性体とを有したことを特徴とするステージの微動装置。

IPC (4)：

B23Q 1/02 ,  G05D 3/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66