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J-GLOBAL ID：200903065609221623

超微粒子発光素子及びその製造装置

Inventor： 川口 俊彦
Applicant, Patent owner： 日本ビクター株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991360515
Publication number (International publication number)：1993206515
Application date： Dec. 27, 1991
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 粒径が小さく、しかも均一性の良好な超微粒子を提供する。【構成】 反応容器8内へ導入した原料ガスGに向けてレーザ光L1を照射し、ブレークダウン現象により超微粒子を製造する。レーザ光L1のエネルギを受けた原料ガスは解離して活性化し、煙状に舞い上がりながら凝集する。この時、粒径の小さな超微粒子は横方向及び上方へ舞い上がった後に沈降するので、レーザ光L1の集光位置P以上の高さに設置した超微粒子採集手段38としての棚40,40Aに載置した基板42上には粒径が小さく且つ均一性の良好な超微粒子Bが採集されることになる。

Claim (excerpt)：

反応容器内へ導入した超微粒子用の原料ガスにレーザ光を照射して超微粒子を形成する超微粒子製造装置において、前記反応容器内に、粒径の比較的均一な超微粒子を採集すべく前記レーザ光の集光位置以上の高さに超微粒子採集手段を設けるように構成したことを特徴とする超微粒子製造装置。

IPC (2)：

H01L 33/00 ,  B01J 19/12