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J-GLOBAL ID：200903065618153479
角速度センサ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993255612
Publication number (International publication number)：1995110337
Application date： Oct. 13, 1993
Publication date： Apr. 25, 1995
Summary：
【要約】【目的】 広い温度範囲で温度特性に優れかつ安価な角速度センサ装置を提供することを目的とする。【構成】 検知軸に沿って互いに平行になるように構成された第1,第2の振動ユニット41,51と、第1,第2の振動ユニット41,51の同一平面上に第1,第2の駆動用素子43,53と第1,第2の検知用素子45,46,55,56とをそれぞれ配置した構成としこの同一平面にしたことにより、広い温度特性に優れた角速度センサを提供できる。
Claim (excerpt)：
検知軸に沿って互いに平行になるように構成された第1,第2の振動ユニットと、前記第1,第2の振動ユニットの表面か裏面のどちらか一方の同一平面上に第1,第2の駆動用素子と第1,第2の検知用素子をそれぞれ配置することを特徴とする角速度センサ。
IPC (2)：
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