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J-GLOBAL ID：200903065623622800

中性子反射鏡

Inventor： 秋山 貴之 ,  和佐 若菜 ,  平木 信一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995018254
Publication number (International publication number)：1996211198
Application date： Feb. 06, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 中性子スーパーミラーや中性子モノクロメーター等の中性子を反射する多層膜で構成される中性子反射鏡において、再現性の良い中性子反射鏡を得ることを目的とする。【構成】 本発明は、基板上に2種類の屈折率が異なった物質を成膜された中性子を反射する中性子反射鏡において、その基板の表面粗さが0.7nm以下であることとした。

Claim (excerpt)：

基板上に2種類の屈折率が異なった物質を成膜された中性子を反射する中性子反射鏡において、前記基板の表面粗さが0.7nm以下であることを特徴とする中性子反射鏡。