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J-GLOBAL ID：200903065628975078
電子放出素子及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
有我 軍一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992015628
Publication number (International publication number)：1993211029
Application date： Jan. 31, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、電子放出素子及びその製造方法に関し、電子放出を行う針状カソード電極の密度を高くすることにより単位面積当りの電子放出量を大きくすることができる電子放出素子及びその製造方法を提供することを目的とする。【構成】 Al表面層を含む金属積層膜のAl膜が陽極酸化されて微細孔を有するAl陽極酸化膜が形成され、該Al陽極酸化膜の微細孔内に電解析出により円柱状電極が形成されてなるように構成する。
Claim (excerpt)：
Al表面層を含む金属積層膜のAl膜が陽極酸化されて微細孔を有するAl陽極酸化膜が形成され、該Al陽極酸化膜の微細孔内に電解析出により円柱状電極が形成されてなることを特徴とする電子放出素子。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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