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J-GLOBAL ID：200903065646238110

固体撮像装置及びこの装置の製造方法

Inventor： 杉山 仁
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993306365
Publication number (International publication number)：1995161950
Application date： Dec. 07, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明は、遮光膜での反射を低減して所定寸法のパターンを安定して形成でき、そのうえ受光部に対する集光性を向上する。【構成】基板(20)上に受光部(21)及び電荷転送路(22)を形成し、かつこの電荷転送路(22)上に遮光膜(23)を形成し、この遮光膜(23)上に黒フィルタ層(25)を形成する。そして、これら受光部(21)及び黒フィルタ層(25)上に保護膜(26)を形成し、その上にマイクロレンズ(28)を形成する。これにより、露光処理時の露光は、黒フィルタ層(25)で吸収され遮光膜(23)からの反射量を低減できる。又、マイクロレンズ(28)は、凹形状の保護膜(26)の上に形成され、さらにその境界面の屈折率の違いにより、マイクロレンズ(28)の集光性は向上する。

Claim (excerpt)：

基板上に受光部、及びこの受光部の光電変換により得られる電荷を転送する電荷転送路を形成し、かつこの電荷転送路上に遮光膜を形成した固体撮像装置において、前記遮光膜上に形成された光吸収層と、前記受光部及び前記光吸収層上にこれら受光部及び光吸収層を覆う如く形成された保護膜と、この保護膜上における前記受光部の上層に形成されたマイクロレンズと、を具備したことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00