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J-GLOBAL ID：200903065656025476

ドライフィルムレジスト

Inventor： 串 憲治 ,  小田 雅春 ,  藤原 匡之 ,  大谷 博行
Applicant, Patent owner： 三菱レイヨン株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993020401
Publication number (International publication number)：1994236028
Application date： Feb. 08, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：

【要約】【構成】 支持フィルム18に硬化性組成物層16が形成されてなるドライフィルムレジスト10において、硬化性組成物層が少なくとも第1硬化性組成物層12と第2硬化性組成物層14を含む2種以上からなり、支持フィルムから第2硬化性組成物層よりも遠い位置にある前記第1硬化性組成物層がチオキサントン系の光重合開始剤を含有し、第2硬化性組成物層がチオキサントン系以外の光重合開始剤を含有する。【効果】 第1硬化性組成物層によって感度を高め、第2硬化性組成物層によって第1硬化性組成物層とはんだめっきが接触することを防ぎ、はんだめっきにチオキサントン系光重合開始剤による悪影響が及ぼされることを防止する。

Claim (excerpt)：

支持フィルムに硬化性組成物層が形成されてなるドライフィルムレジストにおいて、硬化性組成物層が少なくとも第1硬化性組成物層と第2硬化性組成物層を含む2種以上からなり、支持フィルムから第2硬化性組成物層よりも遠い位置にある前記第1硬化性組成物層がチオキサントン系の光重合開始剤を含有し、前記第2硬化性組成物層がチオキサントン系以外の光重合開始剤を含有することを特徴とするドライフィルムレジスト。

IPC (4)：

G03F 7/004 512 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/095 ,  H05K 3/18