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J-GLOBAL ID：200903065659271419
クリーンルーム構造
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
永井 義久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994291705
Publication number (International publication number)：1996152170
Application date： Nov. 25, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：
【要約】【目的】冷却コイルの小型化によりグレーチング下空間の縮小化を図るとともに、送風空気の温度を均一化する。【構成】天井面全体をエアフィルター2,2面とし、床面をグレーチング4としてクリーンルームCRを構成するとともに、このクリーンルームCRの室外部分に空気循環用のダクトシャフト9を形成し、前記各エアフィルター2,2...の背面側に一体的に設けられた空気循環用ファン3、3...により前記クリーンルームCRとダクトシャフト9との間を空気が循環するように構成し、かつ前記クリーンルーム室外の循環路の途中に冷却コイル5を配設し顕熱負荷の処理を行うようにしたクリーンルーム構造において、前記冷却コイル5の背面側にファン6を設ける。
Claim (excerpt)：
実質的に天井面全体をエアフィルター面とし、床面を空気流通構造としてクリーンルームを構成するとともに、このクリーンルームの室外部分に空気循環用のダクト空間を形成し、前記各エアフィルターの背面側に一体的に設けられた空気循環用ファンまたは仕切られた天井裏空間に空気を押し込むために設けられた1または複数の循環用ファンにより前記クリーンルームとダクト空間との間を空気が循環するように構成し、かつ前記クリーンルーム室外の循環路の途中に冷却コイルを配設し顕熱負荷の処理を行うようにしたクリーンルーム構造において、前記冷却コイルの背面側にファンを設けたことを特徴とするクリーンルーム構造。
Patent cited by the Patent：
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