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J-GLOBAL ID:200903065697361901

電極基板

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999174515
Publication number (International publication number):2001004993
Application date: Jun. 21, 1999
Publication date: Jan. 12, 2001
Summary:
【要約】【課題】高い信頼性(耐久性)を有しエッチング性が良く、かつ、低コストで量産性に優れた、金属薄膜を有する電極基板を提供する。【解決手段】少なくとも基板上に光反射性電極を形成した反射電極基板であって、前記光反射性電極を、基板側から順次、窒化チタンからなる下引き層と、金属薄膜からなる光反射層と、酸化物からなる上側層とを積層した積層膜としたことを特徴とする反射電極基板。
Claim (excerpt):
少なくとも基板上に光反射性電極を形成した反射電極基板であって、前記光反射性電極を、基板側から順次、窒化チタンからなる下引き層と、金属薄膜からなる光反射層と、酸化物からなる上側層とを積層した積層膜としたことを特徴とする反射電極基板。
IPC (4):
G02F 1/1335 520 ,  G09F 9/30 336 ,  H05B 33/26 ,  C22C 5/06
FI (4):
G02F 1/1335 520 ,  G09F 9/30 336 ,  H05B 33/26 Z ,  C22C 5/06 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)

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