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J-GLOBAL ID:200903065701179439

カラーフィルタ、ブラックマトリクスおよびセルギャップ制御用スペーサの形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中尾 俊輔 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997103404
Publication number (International publication number):1998293206
Application date: Apr. 21, 1997
Publication date: Nov. 04, 1998
Summary:
【要約】【課題】 フォトリソプロセスを全く使用しないか最小限にしたカラーフィルタの形成方法を提供すること。【解決手段】 ガラス基板の一面にR,B,Gのいずれか一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断し、この一色のカラーフィルタが分断されて露出しているガラス基板の一面にR,B,Gのうちの使用されていないいずれか一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断し、この二色のカラーフィルタがそれぞれ分断されて露出しているガラス基板の一面にR,B,Gのうちの使用されていない最後の一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断してR,B,Gからなるカラーフィルタを形成する方法。
Claim (excerpt):
ガラス基板の一面にR,B,Gのいずれか一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断し、この一色のカラーフィルタが分断されて露出しているガラス基板の一面にR,B,Gのうちの使用されていないいずれか一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断し、この二色のカラーフィルタがそれぞれ分断されて露出しているガラス基板の一面にR,B,Gのうちの使用されていない最後の一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断してR,B,Gからなるカラーフィルタを形成するようにしたことを特徴とするカラーフィルタの形成方法。
IPC (4):
G02B 5/20 101 ,  G02B 5/00 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1339 500
FI (4):
G02B 5/20 101 ,  G02B 5/00 B ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1339 500

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