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J-GLOBAL ID：200903065708606871

欠陥検査方法及び装置

Inventor： 横山 廣一
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 河野 登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995231673
Publication number (International publication number)：1997079997
Application date： Sep. 08, 1995
Publication date： Mar. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 低S/N比の欠陥信号のS/N比を選択的に向上させ、欠陥の未検出、過検出を防止する。【解決手段】【数1】を満足する時間関数g(t)を基底とし、前記検出信号を時間関数f(t)で表した場合、次式【数2】〔ただし、aは時間関数g(t)の時間軸方向の幅を縮小するスケールパラメータ、bは時間関数g(t)の時間軸方向のシフトパラメータ〕によって、周波数及び時間の関数F(a,b)に変換するウェーブレット変換により、被検査材の欠陥を検出及び判定する。

Claim (excerpt)：

被検査材の性状に応じて得られた検出信号を処理して被検査材の欠陥を検査する方法において、【数1】を満足する時間関数g(t)を基底とし、前記検出信号を時間関数f(t)で表した場合、次式【数2】〔ただし、aは時間関数g(t)の時間軸方向の幅を縮小するスケールパラメータ、bは時間関数g(t)の時間軸方向のシフトパラメータ〕によって、周波数及び時間の関数F(a,b)に変換するウェーブレット変換により、被検査材の欠陥を検出及び判定することを特徴とする欠陥検査方法。