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J-GLOBAL ID：200903065741344300

表面形状認識用センサおよびその製造方法

Inventor： 町田 克之 ,  重松 智志 ,  森村 浩季
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999001170
Publication number (International publication number)：2000199701
Application date： Jan. 06, 1999
Publication date： Jul. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 センシングの際に発生する静電気によって静電破壊されることなどがないなど、安定して高感度の表面形状検出が信頼性の高い状態でできるようにする。【解決手段】 層間絶縁膜103の同一平面にそれぞれが絶縁分離された複数のセンサ電極105が備えられ、この上に、支持電極106により支持されてセンサ電極105上に所定の距離離間してかつ対向して対向電極107が配置されている。またセンサ電極105と支持電極106は、その側面および上面がRuからなる保護膜105cおよび106cで覆われている。

Claim (excerpt)：

半導体基板上に形成された層間絶縁膜の同一平面にそれぞれが絶縁分離され、かつそれぞれ固定配置されたセンサ電極を有する複数の容量検出素子と、前記容量検出素子それぞれの容量を検出する容量検出手段と、前記層間絶縁膜上で前記センサ電極と絶縁分離されて配置された固定電極とを備えたことを特徴とする表面形状認識用センサ。

IPC (2)：

G01B 7/34 102 ,  G06T 1/00

FI (2)：

G01B 7/34 102 A ,  G06F 15/64 G

F-Term (10)：

2F063AA43 ,  2F063BA29 ,  2F063BD11 ,  2F063CA28 ,  2F063HA01 ,  2F063HA10 ,  2F063HA16 ,  2F063LA23 ,  2F063LA29 ,  5B047AA25

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 指紋検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-326414   Applicant：日本電気株式会社