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J-GLOBAL ID：200903065743316754

複合セラミックスおよびその製造方法

Inventor： 酒巻 誠 ,  和田 千春
Applicant, Patent owner： 太平洋セメント株式会社
Agent (1)： 高山 宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999235004
Publication number (International publication number)：2001058866
Application date： Aug. 23, 1999
Publication date： Mar. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】 低熱膨張特性と高剛性とを兼備し、半導体製造装置、計測機器、精密機器などの部品に好適な複合化セラミックスおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】 第1の材料と第2の材料からなる緻密質の複合セラミックスであって、第1の材料の重量割合をW1%、密度をρ1、熱膨張係数をα1、ヤング率をE1とし、第2の材料の重量割合をW2%、密度をρ2、熱膨張係数をα2、ヤング率をE2とした場合に、熱膨張係数αおよびヤング率Eが以下の式で表される。α=[(W1E1α1/ρ1)+(W2E2α2/ρ2)]/[(W1E1/ρ1)+(W2E2/ρ2)]+AE=B×[(W1E1ρ2)+(W2E2ρ1)]/[(W1ρ2)+(W2ρ1)]ただし、A=-0.5×10-6〜1.0×10-6、B=0.8〜1.2

Claim (excerpt)：

第1の材料と第2の材料からなる緻密質の複合セラミックスであって、第1の材料の重量割合をW1%、密度をρ1、熱膨張係数をα1、ヤング率をE1とし、第2の材料の重量割合をW2%、密度をρ2、熱膨張係数をα2、ヤング率をE2とした場合に、熱膨張係数αおよびヤング率Eが以下の式で表されることを特徴とする複合セラミックス。α=[(W1E1α1/ρ1)+(W2E2α2/ρ2)]/[(W1E1/ρ1)+(W2E2/ρ2)]+AE=B×[(W1E1ρ2)+(W2E2ρ1)]/[(W1ρ2)+(W2ρ1)]ただし、A=-0.5×10-6〜1.0×10-6、B=0.8〜1.2

F-Term (16)：

4G030AA02 ,  4G030AA16 ,  4G030AA17 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA41 ,  4G030AA47 ,  4G030AA51 ,  4G030AA52 ,  4G030BA20 ,  4G030BA24 ,  4G030GA04 ,  4G030GA22 ,  4G030GA24 ,  4G030GA26 ,  4G030GA27

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭60-027648
  
• 構造部品
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-235005   Applicant：太平洋セメント株式会社
• 特開昭59-174572