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J-GLOBAL ID：200903065756870203
レンズ収差の測定パターンと測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997202731
Publication number (International publication number)：1999044609
Application date： Jul. 29, 1997
Publication date： Feb. 16, 1999
Summary：
【要約】【課題】 半導体装置等の製造に用いられる投影露光装置のレンズ収差を容易に測定する必要がある。【解決手段】 本発明のレンズ収差の測定パターンは、主パターン11の両側に該主パターンより細い副パターン12a,12bを備えているパターンであって、該副パターン12a,12bの大きさが該露光装置の解像限界近傍であることにより、レンズ収差により2本の該副パターン12a,12bがレンズ収差により不均一な結像特性を示すことを利用して、レンズの収差量を測定するというものである。
Claim (excerpt)：
露光装置のレンズ特性を計測するパターンであって、主パターンの両側に該主パターンより細い副パターンを備えているパターンであって、該副パターンの大きさが該露光装置の解像限界近傍であることを特徴とする、レンズ収差の測定パターン。
IPC (2)：
FI (2)：
G01M 11/02 B
, G01M 11/00 L
