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J-GLOBAL ID：200903065765753902
複層セラミックスヒーター
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992312899
Publication number (International publication number)：1994140133
Application date： Oct. 28, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は常温から 1,100°Cという昇温、降温をくり返す試験においても支持基材と発熱層、発熱層と被覆層とが剥離することがなく、かつ高純度であることから半導体ウエハ加熱用などに好適とされる複層セラミックスヒーターの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の複層セラミックスヒーターは、電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスから発熱層を接合し、その上に電気絶縁性セラミックスからなる被覆層を設けてなる複層セラミックスヒーターにおいて、該支持基材と該発熱層の表面粗さRmaxを5μm以上としてなることを特徴とするものである。
Claim (excerpt)：
電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスからなる発熱層を接合し、その上に電気絶縁性セラミックスからなる被覆層を設けてなる複層セラミックスヒーターにおいて、該支持基材および該発熱層の表面粗さRmaxをともに5μm以上としてなることを特徴とする複層セラミックスヒーター。
Patent cited by the Patent：
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