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J-GLOBAL ID：200903065797757357

高速原子線源

Inventor： 畠山 雅規
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993097105
Publication number (International publication number)：1994289196
Application date： Mar. 31, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 低エネルギーの、粒子線束の高い高速原子線を効率よく放出できる高速原子線源を提供する。【構成】 高速原子放出孔を有する陰極21と、該陰極21と所定間隔を有して配置された陽極22と、両電極を内蔵する外筒容器23と、前記陽極22の上流部に配置された外筒容器23内に反応ガスを導入するガスノズル4と、前記外筒容器23内のガスノズル4から前記陽極22間の陽極上流部にマイクロ波25を導入する手段24と、前記陰極21および前記陽極22間に接続されて両電極間の放電部に放電を起こす直流高圧電源3とからなる。

Claim (excerpt)：

高速原子放出孔を有する陰極と、該陰極と所定間隔を有して配置された陽極と、両電極を内蔵する外筒容器と、前記陽極の上流部に配置された外筒容器内に反応ガスを導入するガスノズルと、前記外筒容器内のガスノズルから前記陽極間の陽極上流部にマイクロ波を導入する手段と、前記陰極および前記陽極間に接続されて両電極間の放電部に放電を起こす直流高圧電源とからなることを特徴とする高速原子線源。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-183899
  
• 特表平3-504653
  
• 特開平4-277500