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J-GLOBAL ID:200903065806984299

試料面取り出し装置を具備する自動検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 清水 守 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991218243
Publication number (International publication number):1994265452
Application date: Aug. 29, 1991
Publication date: Sep. 22, 1994
Summary:
【要約】【目的】 試料の任意の断面における長手方向を含む全体像において、撮像による画像データ、およびセンサによる分析データを表示して、人手による工程を除き、一連の検査、分析の自動化を行なう。【構成】 ミクロトーム等の薄片の試料を形成するカッター取付円盤1に隣接させて、観察装置4,10や分析装置を設け、画像データおよび分析データから薄片間にわたるデータを形成し、試料Sの内部状態の全体像を表示するデータを形成するデータ処理装置を、観察装置4,10や分析装置に続けて接続し、その出力を表示装置や記憶装置に出力する。
Claim (excerpt):
試料の画像、物理的特性、化学的特性を検査する自動装置において、(a)試料内部の試料面を取り出す装置と、(b)該試料面取り出す装置に隣接される撮像装置と、(c)前記試料面取り出す装置に隣接されるセンサと、(d)前記撮像装置と前記センサとから得られるデータから前記試料内部の状態を表すデータを演算するデータ処理装置と、(e)該データ処理装置の出力データを表示する表示装置とを有する試料面取り出し装置を具備する自動検査装置。
IPC (3):
G01N 1/06 ,  G01N 1/28 ,  G01N 35/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開平2-299643
  • 特開平2-148278
  • 特開平3-067163

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