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J-GLOBAL ID：200903065885175813

インクジェット記録ヘッドの製造方法

Inventor： 臼井 隆寛 ,  水谷 肇
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 西川 慶治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992316633
Publication number (International publication number)：1994143588
Application date： Oct. 30, 1992
Publication date： May. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 より簡単な工程で信頼性のあるインクジェット記録ヘッドを成形すること。【構成】 インク流路をなす溝2を設けた基板1に、導電性皮膜3を施し(II)、ついで基板1の上面からこの導電性皮膜3を除去した上(III )、電極4を覆うようにして基板1の上面にパラキシレンよりなる絶縁性皮膜5を施し(IV)、最後に、この絶縁性皮膜5の表面に紫外線を照射してこれに親水性を付与させた後(V)、その上に上部基板6を接着するようにしたもの。

Claim (excerpt)：

インク流路をなす多数の溝を設けた基板に、該溝を覆うようにして上記基板の上面に導電性の皮膜を形成し、ついで、該基板上面の上記導電性皮膜を除去した後、上記溝内の導電性皮膜を覆うようにして上記基板の上面にパラキシレンよりなる絶縁性皮膜を形成し、最後に、上記絶縁性皮膜の表面に紫外線を照射して、該基板の上面に上部基板を一体的に接着することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。