Pat
J-GLOBAL ID:200903065899319940

走査型トンネル顕微鏡の探針

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 岩橋 祐司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991025610
Publication number (International publication number):1993045109
Application date: Jan. 26, 1991
Publication date: Feb. 23, 1993
Summary:
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡の探針において、製造が簡便で、歩留まりが高く、得られる結果に高い信頼が置け、表面の酸化によって検出能力を失っても簡便に回復し得る。【構成】 探針の検出をおこなう先端部を、電気伝導性を有する単結晶の金属酸化物から構成する。
Claim (excerpt):
検出をおこなう先端部が、電気伝導性を有する単結晶の金属酸化物からなることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡の探針。
IPC (2):
G01B 7/34 ,  H01J 37/28

Return to Previous Page