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J-GLOBAL ID：200903065921142749

光計測装置

Inventor： 平林 由紀子 ,  川口 文男 ,  山下 優一 ,  牧 敦 ,  小泉 英明 ,  伊藤 嘉敏
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994278797
Publication number (International publication number)：1996131445
Application date： Nov. 14, 1994
Publication date： May. 28, 1996
Summary：

【要約】【構成】装置は光源1と、ハーフミラー2とレンズ3とレンズ21及びピンホール22からなる光学系と、時間分解検出器8と、それら各部の制御及びデータの記憶・演算を行うコンピュータ9と表示部10からなる。光源1から発し、散乱体試料4中の焦点5で散乱され、光学系を経由してピンポール22を通りぬけたパルス光を、検出器8で時間分解計測する。【効果】散乱体中の特定のスポット内の光計測が可能となり、スポットの走査により断層像が得られる。

Claim (excerpt)：

光源と光学系と光変調器と光の分岐手段と検出器を持つ計測装置であり、上記光源から発した光を上記分岐手段により二つに分岐し、分岐光のうち一方を上記光学系により試料中に導き焦点を結ばせ、上記焦点で散乱を受け再び上記光学系に導かれた光を、上記光変調器により変調されたもう一方の分岐光と合波させ、これにより生成した光を検出することにより、試料からの反射光中の平行成分を検出することを特徴とする光計測装置。